میگنیٹرن اسپٹرنگ کا سامان بنیادی طور پر مندرجہ ذیل حصوں پر مشتمل ہے:
1. ہدف مواد: میگنیٹرن اسپٹرنگ آلات کا بنیادی جزو ، عام طور پر دھات ، مصر اور دیگر مواد سے بنا ہوتا ہے۔
2. ویکیوم چیمبر: مقناطیسی اسپٹرنگ آلات کے آپریٹنگ ماحول کو اعلی ویکیوم حالات میں انجام دینے کی ضرورت ہے ، اور ویکیوم چیمبر خلا کو برقرار رکھنے کا کردار ادا کرتا ہے۔
3. میگنیٹرن سسٹم: مقناطیسی فیلڈ کا استعمال ہدف کے مواد کی سطح پر آئن بمباری کو کنٹرول کرنے کے لئے کیا جاتا ہے تاکہ پھیلنے کا سبب بن سکے۔
4. سبسٹریٹ فریم: عملدرآمد کرنے کے لئے سبسٹریٹ مواد کی تائید کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔
5. حرارتی نظام: کچھ معاملات میں ، اسپٹرنگ کے عمل کو کنٹرول کرنے کے لئے ہدف مواد اور سبسٹریٹ کو گرم کرنے کی ضرورت ہے۔
